[发明专利]一种散射测量装置及散射测量方法

摘要

本发明实施例公开了一种散射测量装置及散射测量方法。散射测量装置包括光源、光束传输模块、镜头、相位补偿模块、运动台、焦面测量模块及散射测量模块；光源提供照明光束；光束传输模块将照明光束分为第一光束和第二光束；运动台承载待测物体，带动待测物体在第一平面内扫描；相位补偿模块对第二光束进行相位调制，并形成第三光束；光束传输模块接收信号光束并分束；焦面测量模块接收第三光束和第一信号光束，并计算待测物体的焦面偏离程度；散射测量模块接收第二信号光束，并计算待测物体的关键尺寸或套刻误差。本发明实施例的技术方案，可以在不引入其他照明的条件下实现焦面测量，而且无需垂向扫描，可以提高测量效率，提高产量。