[发明专利]MEMS陀螺仪在审
| 申请号： | 201911423376.2 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111156982A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 占瞻;马昭;李杨;张睿;刘雨微;谭秋喻;黎家健 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01C19/42;G01C19/16 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 谷孝东 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了MEMS陀螺仪，包括具有空腔的固定件、设于空腔中的谐振环、以及设于谐振环内侧的第一电极，第一电极包括用于驱动谐振环沿相互垂直的第一方向和第二方向振动的驱动电极和用于检测谐振环沿与第一方向的夹角呈45度方向和与第一方向的夹角呈135度方向振动的检测电极，谐振环包括辐条和若干个设于固定件与第一电极之间且从固定件朝向第一电极依次嵌套的环形件，任意相邻的两个环形件之间、以及固定件与靠近固定件的环形件之间均通过辐条连接，环形件为正8N角星，其中，N为整数，且N≥2。本发明公开的MEMS陀螺仪通过设置环形件为正8N角星，降低了挠性变形宽度h，增大陀螺f |
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| 搜索关键词： | mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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