[发明专利]一种制备压电陶瓷薄膜的方法在审
| 申请号： | 201911424290.1 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN113122801A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 野村幸治;吴华;中野阳介;吕艳飞;李广志 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/06;C23C14/34;C23C18/12;C23C28/00;H01L41/39 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 聂秀娜 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例公开了一种制备压电陶瓷薄膜的方法，能够直接在玻璃基板上制备PZT薄膜，省去了从硅基板向玻璃基板转移的操作，从而简化制备过程，并可以采用大面积玻璃基板进行制备，提高生产效率。本申请实施例方法包括：在温度低于玻璃软化点的条件下，采用溅射法在玻璃基板上制备种子层；在温度低于玻璃软化点的条件下，在所述种子层上制备锆钛酸铅压电陶瓷PZT薄膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 压电 陶瓷 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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