[发明专利]玻璃晶圆片切割用超薄树脂划片刀及其制备方法与应用有效

专利信息
申请号: 201911425388.9 申请日: 2019-12-31
公开(公告)号: CN111070111B 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 王思宇;张莹莹;李威;冉隆光;刘学民 申请(专利权)人: 苏州赛尔科技有限公司
主分类号: B24D3/28 分类号: B24D3/28;B24D3/34;B24D5/12;B24D18/00;C08L61/06;C08K3/00;C08K3/04;C08K3/30;C08K3/08;C08K3/14
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 孙周强
地址: 215123 江苏省苏州市苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种树脂结合剂超薄切割刀片及其制备工艺,将金刚石与液体酚醛树脂液首次搅拌混合后再与石墨粉、二硫化钼、银粉、铝粉、碳化钨、冰晶石二次搅拌混合,再加入酚醛树脂粉,再次搅拌混合后过筛,得到成型料;成型料经过热压,得到毛坯;毛坯烧结后经过常规加工,得到玻璃晶圆片切割用超薄树脂划片刀。主要应用于高精度玻璃晶圆的切割,可用于半导体衬底和3D晶圆级芯片封装等领域;且发明划片刀锋利性强,加工件表面光洁,质量稳定,不崩边,不起毛刺,不烧伤,进刀速度快,提高生产效率。
搜索关键词: 玻璃 晶圆片 切割 超薄 树脂 划片 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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