[发明专利]基于电压时间转换的电容式压力检测装置、方法及传感器在审
| 申请号： | 201911425729.2 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111122019A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 郑旭;林琳;远雁;郜晨希;王迪;刘瑞琪;李超波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 方丁一 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于电压时间转换的电容式压力检测装置、方法及传感器。所述装置包括：电容组件、与所述电容组件连接的充电控制模块和放电控制模块、与所述放电控制模块和所述电容组件连接的计数模块、以及输出模块；其中，所述电容组件的电容量根据待检测压力的变化而改变；所述充电控制模块用于对所述电容组件进行充电，使所述电容组件的电压达到充电电压；所述放电控制模块用于对所述电容组件进行放电，使所述电容组件的电压降到0V；所述计数模块用于获取并记录所述电容组件的放电时间；所述输出模块用于将所述放电时间进行输出，完成将待测压力转换为电容组件的放电时间。有效地降低了电路噪声，避免了零点漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电压 时间 转换 电容 压力 检测 装置 方法 传感器 | ||
【主权项】：
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