[发明专利]差分电容式压力检测装置有效
| 申请号： | 201911425825.7 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111141424B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 郑旭;林琳;远雁;张心强;王迪;郜晨希;刘瑞琪;靳毅;陈林;李超波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L19/00;G01L19/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种差分电容式压力检测装置，该装置包括：高精度检测电路模块，用于将反映压力变化的差分电容值转换成初始电压信号；线性化调整模块，用于对接收自该高精度检测电路模块的初始电压信号进行线性化调整，得到为第一电压信号；放大输出模块，用于对接收自该线性化调整模块的第一电压信号进行运算放大，得到模拟量输出的第二电压信号；模数转换及调整电路模块，用于对接收自该放大输出模块的第二电压信号进行模数转换，将第二电压信号转换成数字量并输出；可编程输出电路模块，用于进行输出方式的选择切换。本发明采用可编程输出电路模块，通过可控模拟开关可以实现输出方式的切换，实现了输出方式的灵活选择。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 压力 检测 装置 | ||
【主权项】：
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