[发明专利]一种自组装三维微纳结构的制备方法在审
| 申请号： | 201911426794.7 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111694219A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 梁飞燕;童欣;王九鑫;何智恒;耿可佳;赵毅婕 | 申请（专利权）人： | 西安九天孵化器科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20;G03F7/38;B81C1/00 |
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| 地址： | 710065 陕西省西安市高*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自组装三维微纳结构的制备方法，属于自组装技术领域。所述方法包括：表面预处理；旋涂SU‑8光刻胶；前烘；对准和曝光；后烘；显影；二次匀胶；前烘；二次曝光；后烘；二次显影；转移及自组装，得到自组装三维微纳结构。本发明优化了光刻与显影等微电子工艺，利用SU‑8负性光刻胶和SPR‑220正性光刻胶成功制备了二维平面结构，且利用热力作为驱动力对二维微纳结构实施了自组装，制备了自组装三维微纳结构，为后续二维材料的自组装提供了平台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组装 三维 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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