[实用新型]一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置

摘要

本实用新型公开了一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，涉及真空泵技术，具体涉及一种溅射离子泵的保护技术；其特征在于：包括温度开关组件和连接固定螺母；连接固定螺母焊接于离子泵阴极外壳外表面上，温度开关组件通过连接固定螺母进行连接；温度开关组件由连接螺栓、不锈钢壳、不锈钢壳盖板、温度开关和航空插座构成；温度开关引脚与航空插座之间设置了电连接。本实用新型的优点是：如果离子泵温度高于限定温度，温度开关发出信号，通知离子泵电源立即关断高压输出，以免对离子泵及其电源造成严重的破坏，具有延长加速器溅射离子泵使用寿命、保障离子泵长期工作稳定性、增强安全性的作用。

主权项

1.一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，其特征在于：包括温度开关组件（2）和连接固定螺母（3）；连接固定螺母（3）焊接于离子泵阴极外壳（1）外表面上，温度开关组件（2）通过连接固定螺母（3）进行连接；温度开关组件（2）由连接螺栓（4）、不锈钢壳（5）、不锈钢壳盖板（6）、温度开关（7）和航空插座（8）构成；连接螺栓（4）焊接于不锈钢壳（5）底板下面，规格与连接固定螺母（3）匹配；不锈钢壳（5）设置为容器状，不锈钢壳盖板（6）形状与不锈钢壳（5）上口匹配，并以螺栓与不锈钢壳（5）固定；温度开关（7）以螺栓固定于不锈钢壳（5）内部底面上；航空插座（8）设置在不锈钢壳盖板（6）上，温度开关（7）引脚与航空插座（8）之间设置了电连接。