[实用新型]一种气体制备设备有效
| 申请号： | 201920006711.8 | 申请日： | 2019-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN209406286U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 李东升 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J7/00 | 分类号： | B01J7/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种气体制备设备。本实用新型提供的气体制备设备包括容器、法兰密封组件和密封罩。其中，容器包括上封头和筒体，并通过法兰密封组件密封连接，通过密封罩与容器外壁构成密封空间，对法兰密封组件进行密封，提高气体制备设备的密封效果，当气体制备设备在正压使用时，即便法兰密封失效，也能有效避免电子特气泄漏，从而避免发生安全事故和环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 气体制备 法兰密封 本实用新型 密封罩 半导体技术领域 安全事故 密封空间 密封效果 容器外壁 组件密封 上封头 特气 筒体 正压 密封 泄漏 | ||
【主权项】：
1.一种气体制备设备，包括容器(300)，所述容器(300)包括上封头(301)和筒体(302)，所述上封头(301)和所述筒体(302)通过法兰密封组件(200)密封连接，其特征在于，所述气体制备设备还包括密封罩(1)，所述密封罩(1)与所述容器(300)外壁共同构成密封空间，以密封所述法兰密封组件(200)。
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