[实用新型]一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置有效
| 申请号： | 201920022931.X | 申请日： | 2019-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN209266823U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 徐永兵;聂忠辉;黎遥;何亮 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;G02F1/35 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，包括：所述超高重复频率的飞秒激光器用于输出飞秒量级的激光脉冲，其重复频率最高可达MHz；所述聚焦光学元件用于将激光脉冲引导并聚焦至真空腔体内的连续性气体装置中；所述连续性气体装置用于释放气体并与聚焦后的激光脉冲相互作用后产生飞秒级极紫外射线；所述真空系统用于吸收气体装置中多余气体，确保装置内的真空度；所述监控系统用于监控激光和气体装置的相互作用，避免装置被激光击穿。本实用新型结构简单，操作便捷，所形成的高通量和超高重复频率极紫外射线具有飞秒级别的脉冲宽度，能够为光电子能谱等科学仪器应用提供优质光源，大大提高测量效率，有助于超快领域研究。 | ||
| 搜索关键词： | 超高重复频率 极紫外射线 激光脉冲 气体装置 高通量 本实用新型 聚焦 聚焦光学元件 飞秒激光器 光电子能谱 避免装置 测量效率 激光击穿 监控激光 监控系统 科学仪器 领域研究 确保装置 吸收气体 应用提供 真空系统 重复频率 真空腔 脉冲 光源 体内 释放 输出 | ||
【主权项】：
1.一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，其特征在于，包括超高重复频率的飞秒激光器(1)、聚焦光学元件(2)、连续性气体装置(3)、真空系统(4)、监控系统(5)及真空腔体(6)；其中，所述超高重复频率的飞秒激光器(1)用于输出飞秒级别的激光脉冲，其重复频率高达MHz；所述聚焦光学元件(2)用于将激光脉冲引导并聚焦至真空腔体(6)内的连续性气体装置(3)中；所述连续性气体装置(3)用于释放气体使其与聚焦后的激光脉冲相互作用后产生飞秒级极紫外射线；所述真空系统(4)用于吸收连续性气体装置(3)释放的多余气体，确保真空腔体(6)内的真空度；所述监控系统(5)用于监控激光脉冲和连续性气体装置(3)的相对位置，以及激光脉冲透射过连续性气体装置(3)的光斑位置和形状。
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