[实用新型]一种PECVD辅助加热装置有效
| 申请号： | 201920037274.6 | 申请日： | 2019-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN209636318U | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 王俊朝;李军阳;刘兵吉;杜武明 | 申请（专利权）人： | 深圳丰盛装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;C23C16/52;C23C16/46 |
| 代理公司： | 44599 深圳市深可信专利代理有限公司 | 代理人： | 万永泉<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 518000广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种PECVD辅助加热装置，涉及太阳能电池设备技术领域，包括主加热炉体、前端盖组件、后端盖组件、石墨舟以及辅助加热装置；所述的主加热炉体呈圆筒状，所述的前端盖组件和后端盖组件分别盖在主加热炉体的两端开口处，在主加热炉体内部形成反应腔室，所述的石墨舟即位于反应腔室内；所述的辅助加热装置包括多个加热套管，且多个加热套管均伸入反应腔室内，并位于石墨舟的一侧，加热套管的一端从前端盖组件处或后端盖组件处伸出；本实用新型的有益效果是：该PECVD辅助加热装置在升温阶段辅助主加热炉体加热，从而缩短加热时间和工艺时间，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 主加热炉 辅助加热装置 后端盖组件 前端盖组件 加热套管 石墨舟 本实用新型 反应腔 加热 太阳能电池设备 室内 反应腔室 两端开口 生产效率 升温阶段 体内部 圆筒状 伸入 伸出 | ||
【主权项】：
1.一种PECVD辅助加热装置，其特征在于：包括主加热炉体、前端盖组件、后端盖组件、石墨舟以及辅助加热装置；/n所述的主加热炉体呈圆筒状，所述的前端盖组件和后端盖组件分别盖在主加热炉体的两端开口处，在主加热炉体内部形成反应腔室，所述的石墨舟即位于反应腔室内；/n所述的辅助加热装置包括多个加热套管，且多个加热套管均伸入反应腔室内，并位于石墨舟的一侧，加热套管的一端从前端盖组件处或后端盖组件处伸出。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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