[实用新型]双通道变焦式干涉系统有效
申请号: | 201920037765.0 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN209624403U | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 郭伟长风;平永利;孙伟;仲佳永 | 申请(专利权)人: | 北京师范大学 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G02B7/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100875 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种双通道变焦式干涉系统,包括:激光发生单元,用于产生偏振的探针光,探针光透射过所述待测物后形成信息光;变焦单元和分束单元,沿信息光的传输方向依次设置,变焦单元通过变焦对信息光进行放大,分束单元将经过变焦单元放大后的信息光进行分束为形状测量光和密度测量光;形状测量单元,设置在来自分束单元的形状测量光的发射方向上,通过形状测量光测量待测物的形状;电子密度测量单元,设置在来自分束单元的密度测量光的发射方向上,通过密度测量光测量待测物的电子密度。本实用新型所提供的双通道变焦式干涉系统,方便地调节激光发生装置和待测物之间的距离,有利于对待测物密度及形状的观测。 | ||
搜索关键词: | 分束单元 待测物 信息光 变焦 变焦单元 干涉系统 密度测量 形状测量 双通道 本实用新型 光测量 探针光 放大 电子密度测量 激光发生单元 激光发生装置 形状测量单元 传输方向 依次设置 发射 透射 分束 偏振 观测 | ||
【主权项】:
1.一种双通道变焦式干涉系统,其特征在于,包括:激光发生单元,用于产生偏振的探针光,所述探针光透射过待测物后形成信息光;变焦单元和分束单元,沿所述信息光的传输方向依次设置,所述变焦单元通过变焦对信息光进行放大,所述分束单元将经过所述变焦单元放大后的信息光进行分束为形状测量光和密度测量光;形状测量单元,设置在来自所述分束单元的形状测量光的发射方向上,通过所述形状测量光测量待测物的形状;电子密度测量单元,设置在来自所述分束单元的密度测量光的发射方向上,通过所述密度测量光测量所述待测物的电子密度。
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