[实用新型]基于全光光场计算的圆柱体外表面检测装置有效
申请号: | 201920037939.3 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN209512795U | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 高秀敏;张庆立 | 申请(专利权)人: | 上海明念激光科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200082 上海市杨浦区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种基于全光光场计算的圆柱体外表面检测装置,包括被检测圆柱模块,照射模块,成像模块、全光光场减法模块、探测器模块。照明光源出射光束经照明光束整形器后分成两束平行光,平行光束经光束偏折器件偏折到被检测圆柱体表面,经圆柱体反射或者折射的光经成像部件、光束合成器将光所成的图像整合到全光光场的入瞳处,使之后续能有效的进行全光光场的减法过程,利用全光光场方法进行圆柱体表面信息检测,从入瞳进入的像经对正弦光栅的调整使像与孔产生相位差π,最后探测器检测全光光场减法部件的出瞳出的像转化为以曲线形式输出,实现了在生产过程中能对无限长的圆柱体表面缺陷信息的准确提取,高效可靠且能实时检测。 | ||
搜索关键词: | 圆柱体表面 圆柱体外表面 检测装置 场计算 入瞳 本实用新型 光束合成器 探测器检测 探测器模块 成像部件 成像模块 出射光束 高效可靠 光束偏折 减法部件 减法过程 减法模块 平行光束 曲线形式 缺陷信息 生产过程 实时检测 图像整合 信息检测 圆柱模块 照明光束 照明光源 正弦光栅 平行光 相位差 整形器 检测 出瞳 偏折 反射 照射 折射 输出 转化 | ||
【主权项】:
1.一种基于全光光场计算的圆柱体外表面检测装置,包括相干照明光源(1)、照明光束整形器(2)、第一光束偏折器件(3)、第二光束偏折器件(4)、圆柱体(5)、第一成像部件(6)和第二成像部件(7)、光束合成器(8)、全光光场减法部件(9)、探测器(10),其特征在于:所述圆柱体(5)包括被检测区域一(501)、被检测区域二(502);所述全光光场减法部件(9)由入瞳(901)和出瞳(902)、第一凸透镜(903)、正弦光栅(904)、第二凸透镜(905)组成;经由第一光束偏折器件(3)和第二光束偏折器件(4)偏折的光分别照射到被检测区域一(501)和被检测区域二(502)的圆柱体(5)外表面被检测区域,光束合成器(8)将光正好合成到全光光场减法部件(9)的入瞳(901)处,经入瞳(901)的光束经过第一凸透镜(903)和正弦光栅(904),再经由第二凸透镜(905)聚焦到全光光场减法的出瞳(902)处。
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