[实用新型]基板检查装置有效
| 申请号： | 201920038160.3 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN209373023U | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陆啸;艾鹏 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德机器装置(浙江)有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02;G01R1/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 沈捷 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种基板检查装置，有助于将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态。本实用新型的基板检查装置具有：基座(10)；固定台(20)，该固定台设置于基座；基板支承框架(30)，该基板支承框架用于从下方支承基板，且通过连接件(40)固定于所述固定台；调节部(50)，该调节部设置在所述固定台(20)与所述基板支承框架(30)之间，以对所述基板支承框架的高度进行调节，在沿上下方向观察时，所述调节部偏离载置于所述基板支承框架的基板的中心。 | ||
| 搜索关键词： | 基板支承 固定台 基板检查装置 本实用新型 基板调整 上下方向 水平状态 支承基板 连接件 基板 支承 偏离 观察 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查装置，其特征在于，具有：基座(10)；固定台(20)，该固定台设置于基座；基板支承框架(30)，该基板支承框架用于从下方支承基板，且通过连接件(40)固定于所述固定台；调节部(50)，该调节部设置在所述固定台(20)与所述基板支承框架(30)之间，以对所述基板支承框架的高度进行调节，在沿上下方向观察时，所述调节部偏离载置于所述基板支承框架的所述基板的中心。
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