[实用新型]一种楔形预紧的二维柔顺振动平台

摘要

本实用新型公开了一种楔形预紧的二维柔顺振动平台，包括驱动源、柔顺振动平台、基座和楔形预紧装置；所述柔顺振动平台包括圆弧型柔性铰链、外侧直梁型柔性铰链、工作台、内侧直梁型柔性铰链和柔顺振动平台外侧架体。当两个方向的驱动源同时运动时，使工作台产生了两个方向的机械振动，实现了二维振动辅助加工。驱动源通过圆弧型柔性铰链为工作台提供微米级的振动，外侧直梁型柔性铰链和内侧直梁型柔性铰链关于工作台对称布置，实现了工作台的解耦运动，为振动平台的高精度运动提供保证。本振动平台采用楔形预紧装置，调节更直观，预紧力均匀。通过调整预紧螺钉的位置，实现为不同类型和尺寸的驱动源预紧的目的，适应性强。

主权项

1.一种二维柔顺振动平台，其特征在于该振动平台包括驱动源、柔顺振动平台、基座和楔形预紧装置；所述柔顺振动平台包括圆弧型柔性铰链、外侧直梁型柔性铰链、工作台、内侧直梁型柔性铰链和柔顺振动平台外侧架体；所述柔顺振动平台外侧架体与基座连接；所述工作台位于柔顺振动平台的中间位置，通过对称布置的内侧直梁型柔性铰链与外侧直梁型柔性铰链连接，外侧直梁型柔性铰链与柔顺振动平台外侧架体连接；两个楔形预紧装置相互垂直布置；楔形预紧装置位于柔顺振动平台外侧架体内部，与柔顺振动平台外侧架体内部接触，柔顺振动平台外侧架体为楔形预紧装置的移动提供轨道；楔形预紧装置一端与预紧螺钉接触，另一端内部有驱动源，通过调整预紧螺钉，实现驱动源的预紧；所述驱动源通过圆弧型柔性铰链与工作台接触。