[实用新型]一种基于MEMS微振镜技术的激光散斑消除装置有效
| 申请号： | 201920045431.8 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN209297040U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 金传广;杜先鹏;郭俊兴;代启强;周印伟 | 申请（专利权）人： | 青岛小优智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/48 | 分类号： | G02B27/48;G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市高新区松园路17号青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于MEMS微振镜技术的激光散斑消除装置，包括外壳和沿光路依次分布设置的半导体激光器、激光整形系统、双轴MEMS微振镜、反馈系统和驱动控制系统，半导体激光器产生的光束，通过激光整形系统整形后通过双轴MEMS微振镜对外进行投射。双轴MEMS微振镜消除激光散斑，结构简单，而且对激光光源的波长没有要求，任意波长的激光均可实现消散斑效果；双轴MEMS微振镜的X轴做扫描运动，获得所需模式的结构光，结构光模式不限；双轴MEMS微振镜的Y轴做镜面法线方向的上下幅度为波长量级的高频振动，振动频率高于X轴的频率，振动幅度为波长量级，不会对扫描光栅的分布造成影响，实现了获得高光束质量的方法，极大的提高扫描模组的建模精度。 | ||
| 搜索关键词： | 微振 双轴 激光散斑消除装置 半导体激光器 激光整形系统 波长量级 波长 镜面法线方向 驱动控制系统 本实用新型 结构光模式 消散斑效果 反馈系统 分布设置 高频振动 激光光源 激光散斑 扫描光栅 扫描模组 扫描运动 振动幅度 振动频率 高光束 结构光 整形 光路 建模 投射 激光 | ||
【主权项】：
1.一种基于MEMS微振镜技术的激光散斑消除装置，其特征在于，包括外壳和沿光路依次分布设置的半导体激光器、激光整形系统、双轴MEMS微振镜、反馈系统和驱动控制系统，所述半导体激光器产生的光束，通过激光整形系统整形后通过双轴MEMS微振镜对外进行投射。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛小优智能科技有限公司，未经青岛小优智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920045431.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
