[实用新型]一种通用且能匹配大尺寸硅片的石墨舟及其石墨舟片有效

专利信息
申请号: 201920047657.1 申请日: 2019-01-11
公开(公告)号: CN209357747U 公开(公告)日: 2019-09-06
发明(设计)人: 余波;郑方渊;张华;冯晓倩 申请(专利权)人: 上海弘竣实业有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L21/673;H01L21/68
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201708 上海市青浦区华*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种通用且能匹配大尺寸硅片的石墨舟及其石墨舟片,属于太阳能电池片加工技术领域。该石墨舟片包括石墨舟片本体、硅片放置位、陶瓷杆通孔以及若干组用于对156‑161.75mm规格的硅片进行限位的卡槽和卡点;其中,所述的石墨舟片本体上均匀设有若干组硅片放置位,所述的硅片放置位上边和下边均对称设有两组陶瓷杆通孔,所述的若干组卡槽上可拆卸地设有一组卡点;所述的卡点的直径为3mm‑8mm。本实用新型通过改变石墨舟片内部卡槽、卡点以及陶瓷杆通孔的分布,以实现匹配大尺寸的硅片的目的,故石墨舟片整体的总长度以及包含该石墨舟片的石墨舟的最大外形尺寸并没有发生变化,从而可以解决传统石墨舟无法匹配M3、M4硅片的问题。
搜索关键词: 石墨舟片 匹配 硅片放置 石墨舟 陶瓷杆 硅片 卡点 通孔 本实用新型 大尺寸硅片 卡槽 加工技术领域 太阳能电池片 传统石墨 通用 可拆卸 两组 限位 对称 下边
【主权项】:
1.一种石墨舟片,包括石墨舟片本体(1)、硅片放置位(2)和陶瓷杆通孔(7),所述的石墨舟片本体(1)上均匀设有若干组硅片放置位(2),所述的硅片放置位(2)上边和下边均对称设有两组陶瓷杆通孔(7),其特征在于,还包括若干组用于对156‑161.75mm规格的硅片进行限位的卡槽(5)和卡点(6),所述的若干组卡槽(5)上均可拆卸地设有一组卡点(6);所述的卡点(6)的直径为3mm‑8mm。
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