[实用新型]一种钟罩式化学气相沉积设备

摘要

本实用新型提出了一种钟罩式化学气相沉积设备，包括反应柜，反应柜与所述控制柜连接，反应柜内上端设有钟罩壳，钟罩壳内设有钟罩保温层，钟罩保温层内设有钟罩箱，钟罩保温层内壁与钟罩箱外侧形成空腔，钟罩箱上设有通气孔，反应柜内部底端上设有与液压油泵连接的升降平台，升降平台上端设有从下至上依次连接的壳体封闭板、保温封闭板、箱体封闭板，钟罩壳左右两侧设有通向空腔的进气管，进气管上设有转接头，反应柜左右两侧设有通向空腔的出气管，出气管上下两端设有球阀，出气管上设有与冷水机连接的水冷管，钟罩保温层前后两侧设有通向空腔的硅钼棒；本实用新型适合尺寸较大的产品，带有升降设备，进气出气均匀。

主权项

1.一种钟罩式化学气相沉积设备，包括控制柜，控制柜内前端设有控制器、质量流量计控制器、与质量流量计控制器连接的进料接头，控制柜后端从上至下依次设有冷水机、气化器、真空泵、液压油泵，其特征在于：/n反应柜，反应柜与所述控制柜连接，反应柜内上端设有钟罩壳，所述钟罩壳内设有钟罩保温层，所述钟罩保温层内设有钟罩箱，所述钟罩保温层内壁与钟罩箱外侧形成空腔，所述钟罩箱上设有通气孔，所述反应柜内部底端上设有与所述液压油泵连接的升降平台，所述升降平台上端设有从下至上依次连接的壳体封闭板、保温封闭板、箱体封闭板，所述钟罩壳左右两侧设有通向所述空腔的进气管，所述进气管上设有转接头，所述反应柜左右两侧设有通向所述空腔的出气管，所述出气管上下两端设有球阀，所述出气管上设有与所述冷水机连接的水冷管，所述钟罩保温层前后两侧设有通向所述空腔的硅钼棒，所述钟罩壳上设有通向所述空腔的热电偶。/n