[实用新型]一种用于三氯氢硅尾气处理的清洁化装置有效
申请号: | 201920059700.6 | 申请日: | 2019-01-14 |
公开(公告)号: | CN209663033U | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 宋兴桥 | 申请(专利权)人: | 天津中科拓新科技有限公司 |
主分类号: | B01D53/86 | 分类号: | B01D53/86;C01B33/107;B01D53/70;B01D53/76 |
代理公司: | 12201 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人: | 李素兰<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 300350 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型一种用于三氯氢硅尾气处理的清洁化装置;包括吸收塔,光反应器、混合器、精馏塔组成的三氯氢硅尾气处理装置,吸收塔上部设有吸收剂进口,下部设有三氯氢硅尾气进口,顶部设有氯化氢采出口,底部设有塔底物料采出口,其中吸收剂进口连接精馏塔底部;塔底物料采出口连接混合器,光反应器顶部设有气相采出口,上部设有反应产物溢流口,下部设有反应物料进口,其中反应物料进口连接混合器,气相采出口连接吸收塔,反应产物溢流口连接精馏塔;混合器设有物料进口、氯气进口及物料出口,其中原料进口连接吸收塔,物料出口连接光反应器;精馏塔顶部设有气相采出口,底部设有产品采出口,其中产品采出口连接吸收塔。装置减少物耗,提高利用率。 | ||
搜索关键词: | 采出口 吸收塔 混合器 三氯氢硅尾气 光反应器 精馏塔 反应物料进口 吸收剂进口 塔底物料 物料出口 溢流口 本实用新型 精馏塔顶部 处理装置 氯气进口 物料进口 原料进口 装置减少 氯化氢 清洁化 进口 | ||
【主权项】:
1.一种用于三氯氢硅尾气处理的清洁化装置,其特征是包括吸收塔,光反应器、混合器、精馏塔组成的三氯氢硅尾气处理装置,吸收塔上部设有吸收剂进口,下部设有三氯氢硅尾气进口,顶部设有氯化氢采出口,底部设有塔底物料采出口,其中吸收剂进口连接精馏塔底部,塔底物料采出口连接混合器;光反应器顶部设有气相采出口,上部设有反应产物溢流口,下部设有反应物料进口,其中反应物料进口连接混合器,气相采出口连接吸收塔,反应产物溢流口连接精馏塔;混合器设有物料进口、氯气进口及物料出口,其中原料进口连接吸收塔,物料出口连接光反应器;精馏塔顶部设有气相采出口,底部设有产品采出口,其中产品采出口连接吸收塔。/n
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