[实用新型]一种晶圆类产品的翻转和水平搬运装置有效
| 申请号： | 201920061739.1 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN209133483U | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 管奕霖 | 申请（专利权）人： | 上海福赛特机器人有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 200233 上海市徐汇区虹梅*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，包括：吸盘机构，包括上下设置的第一吸盘和第二吸盘；翻转机构，连接所述第二吸盘，用于使所述第二吸盘翻转，带动所述第二吸盘吸附的晶圆类产品翻转；升降机构，连接所述第一吸盘，用于使所述第一吸盘下降，吸附所述第二吸盘上翻转后的晶圆类产品后，再使所述第一吸盘上升；水平移动机构，连接所述升降机构，用于带动所述升降机构上所述第一吸盘吸附的晶圆类产品平移。本实用新型整个定位过程结构简单速度快，可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 翻转 升降机构 晶圆 水平搬运装置 本实用新型 吸盘吸附 种晶 水平移动机构 定位过程 翻转机构 上下设置 吸盘机构 平移 产能 吸附 制程 节拍 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，其特征在于，包括：吸盘机构，包括上下设置的第一吸盘和第二吸盘；翻转机构，连接所述第二吸盘，用于使所述第二吸盘翻转，带动所述第二吸盘吸附的晶圆类产品翻转；升降机构，连接所述第一吸盘，用于使所述第一吸盘下降，吸附所述第二吸盘上翻转后的晶圆类产品后，再使所述第一吸盘上升；水平移动机构，连接所述升降机构，用于带动所述升降机构上所述第一吸盘吸附的晶圆类产品平移。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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