[实用新型]一种低串扰的硅光子波分复用器有效
| 申请号： | 201920062736.X | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN209446819U | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 方青;陈晓铃;顾苗苗;陈华;张志群 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种低串扰的硅光子波分复用器，属于半导体光信号传输技术领域。该低串扰的硅光子波分复用器，从下至上包括晶圆的衬底、晶圆的埋氧层、波导层和波导的SiO2上包层，所述波导层分别为微环谐振滤波器（MRR）、传输波导和阵列波导光栅（AWG），微环谐振滤波器通过传输波导与阵列波导光栅相连。本实用新型通过在硅光AWG输入端增加微环谐振滤波器进行滤波，对波长调谐系统进行操作，调节微环谐振滤波器的谐振波长，使谐振波长与硅光AWG对应波长进行匹配，对所需波长信号进行进一步滤波实现低串扰特性，有效解决硅光AWG器件串扰性能不佳的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振滤波器 低串扰 微环 波分复用器 光子 硅光 阵列波导光栅 本实用新型 传输波导 谐振波长 波导层 晶圆 滤波 波长调谐系统 光信号传输 波长信号 串扰性能 有效解决 埋氧层 上包层 输入端 波长 波导 衬底 半导体 匹配 | ||
【主权项】：
1.一种低串扰的硅光子波分复用器，从下至上包括晶圆的衬底、晶圆的埋氧层、波导层和波导的SiO2上包层，其特征在于：所述波导层分别为微环谐振滤波器（110）、传输波导（120）和阵列波导光栅（130），微环谐振滤波器（110）通过传输波导（120）与阵列波导光栅（130）相连。
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