[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201920066351.0 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN209402730U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 徐达 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 袁文婷;王迎 |
| 地址： | 266100 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS麦克风，包括MEMS芯片，MEMS芯片包括具有背腔的基底、固定在基底上的背极结构和振膜，其中，在振膜上沉积有吸光层，吸光层用于吸取从基底的背腔进入的外界光线。利用本实用新型，能够解决外界光经MEMS芯片的基底背腔和金属外壳，反射到ASIC芯片上，造成ASIC芯片工作的异常，从而影响MEMS麦克风的性能的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 本实用新型 吸光层 背腔 振膜 金属外壳 外界光线 基底背 外界光 背极 沉积 反射 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，包括MEMS芯片，所述MEMS芯片包括具有背腔的基底、固定在所述基底上的背极结构和振膜；其特征在于，在所述振膜上沉积有吸光层，所述吸光层用于吸取从所述基底的背腔进入的外界光线。
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