[实用新型]一种多工位化学气相沉积炉

摘要

本实用新型提供一种多工位化学气相沉积炉，包括上炉体、下炉体与升降机构；下炉体通过升降机构连接在上炉体的正下方，下炉体与升降机构传动相连并在竖向上具有移动的行程，上炉体的底部设有能够随着下炉体移动而打开或封闭的炉腔；下炉体的顶部设有若干能够随着下炉体移动而封闭在炉腔内的沉积组件与发热体。利用升降机构连接上炉体与下炉体，下炉体在升降机构的驱动下能够在竖向上移动，在下炉体移动的过程中，完成将下炉体上的沉积组件与发热体封闭在炉腔内以及从炉腔内取出的工作，同时继承了立式沉积炉和卧式沉积炉的优点，能够很好地实现装炉量大，工件进、出炉方便，沉积效果较佳。本实用新型应用于沉积设备领域。

主权项

1.一种多工位化学气相沉积炉，其特征在于，包括上炉体、下炉体与升降机构；所述下炉体通过升降机构连接在上炉体的正下方，所述下炉体与升降机构固定相连并相对所述上炉体在竖向上具有升降移动的行程，所述上炉体内部具有炉腔，所述上炉体的底部设有能够随着下炉体移动而打开或封闭所述炉腔的炉门；所述下炉体的顶部固设有若干能够随着下炉体移动而封闭在所述炉腔内的沉积组件与发热体。