[实用新型]一种真空等离子设备的自动门结构有效

专利信息
申请号: 201920068891.2 申请日: 2019-01-16
公开(公告)号: CN209908273U 公开(公告)日: 2020-01-07
发明(设计)人: 郭峰;国际瑞;陈晓明;王宇 申请(专利权)人: 昆山普乐斯电子科技有限公司
主分类号: E06B3/44 分类号: E06B3/44;E06B7/16;E05F15/57
代理公司: 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人: 董建林;王玉
地址: 215313 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种真空等离子设备的自动门结构,包括安装在架台(6)上的直线导轨(4),所述直线导轨(4)上安装有真空门安装板(7),所述真空门安装板(7)上安装有真空门(2),所述真空门安装板(7)与驱动装置相连接;在真空腔体(1)的上方和下方分别设有上夹紧气缸(8)和下夹紧气缸(11),所述上夹紧气缸(8)和下夹紧气缸(11)分别连接上夹紧板(9)和下夹紧板(12),将真空门(2)压到真空腔体(1)上。本实用新型能实现设备真空门的自动开闭,减轻作业员手工操作的动作,保证真空门的密封效果,操作简单,运行平稳,提高了设备的自动化程度。
搜索关键词: 真空门 气缸 安装板 本实用新型 真空腔体 直线导轨 上夹 下夹 真空等离子 密封效果 驱动装置 上夹紧板 设备真空 下夹紧板 自动开闭 自动门 架台 自动化 保证
【主权项】:
1.一种真空等离子设备的自动门结构,其特征是,包括安装在架台(6)上的直线导轨(4),所述直线导轨(4)上安装有真空门安装板(7),所述真空门安装板(7)上安装有真空门(2),所述真空门安装板(7)与驱动装置相连接;在真空腔体(1)的上方和下方分别设有上夹紧气缸(8)和下夹紧气缸(11),所述上夹紧气缸(8)和下夹紧气缸(11)分别连接上夹紧板(9)和下夹紧板(12),将真空门(2)压到真空腔体(1)上。/n
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