[实用新型]一种电子束扫描测量仪的承片托盘

摘要

一种电子束扫描测量仪的承片托盘，解决了普通承片托盘由于在运送过程中的气压变化，普通承片托盘存在吸附不牢，晶片容易移位的问题，其包括承片托盘本体，所述承片托盘本体的一侧设有底面，承片托盘本体上等距开设有三个沉头螺孔，底面上开设有真空通道，真空通道的一侧设有交换手臂摆动通道，承片托盘本体的中部开设有中心挖空部，真空通道的另一侧设有圆形突起，承片托盘本体两侧设有斜面，承片托盘本体的另一侧设有端面，端面的一侧开设有第一在位凹槽，端面的另一侧开设有第二在位凹槽，本实用新型结构新颖，构思巧妙，成本低，结构简单，吸附牢固，耐用性强，同时预留有传感器通道，满足较多使用要求。

主权项

1.一种电子束扫描测量仪的承片托盘，包括承片托盘本体(1)，其特征在于，所述承片托盘本体(1)的一侧设有底面(2)，承片托盘本体(1)上等距开设有三个沉头螺孔(3)，底面(2)上开设有真空通道(4)，真空通道(4)的一侧设有交换手臂摆动通道(5)，承片托盘本体(1)的中部开设有中心挖空部(6)，真空通道(4)的另一侧设有圆形突起(7)，承片托盘本体(1)两侧设有斜面(8)，承片托盘本体(1)的另一侧设有端面(9)，端面(9)的一侧开设有第一在位凹槽(10)，端面(9)的另一侧开设有第二在位凹槽(11)，第一在位凹槽(10)的一侧开设有第三在位凹槽(12)，端面(9)的中部开设有晶片凹槽(13)，第二在位凹槽(11)的一侧开设有第四在位凹槽(14)，晶片凹槽(13)的表面设有保护层(15)，保护层(15)的一侧设有吸水层(16)，吸水层(16)的一侧设有金属层(17)，金属层(17)的一侧设有耐腐蚀层(18)，耐腐蚀层(18)的一侧设有防静电层(19)。