[实用新型]一种晶体生长炉温场检测装置有效
| 申请号： | 201920077549.9 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN209280162U | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 代晓波;彭海松 | 申请（专利权）人： | 独山中科晶元信息材料有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;G01K13/00 |
| 代理公司： | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人： | 韩炜 |
| 地址： | 558200 贵州省黔*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶体生长炉温场检测装置。在密封炉盖中心设有中心热电偶；在密封炉盖上、绕中心热电偶由内向外还依次设有以密封炉盖中心为圆心的检测内圈和检测外圈；所述的检测内圈上分布有四个内圈热电偶，相邻两内圈热电偶间隔90°；所述的检测外圈上分布有四个外圈热电偶，相邻两外圈热电偶间隔90°；所述的内圈热电偶和外圈热电偶沿密封炉盖的径向对齐；所述的中心热电偶、内圈热电偶和外圈热电偶均沿炉体的轴向设有上层感温元件，中层感温元件和下层感温元件；所述的上层感温元件，中层感温元件和下层感温元件均处于坩埚内。综上，本实用新型具有提高检测精度和生产效率的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 热电偶 感温元件 内圈 密封炉盖 中心热电偶 检测 晶体生长炉温 本实用新型 场检测装置 下层 中层 上层 圆心 径向对齐 生产效率 由内向外 炉体 轴向 坩埚 | ||
【主权项】：
1.一种晶体生长炉温场检测装置，其特征在于：包括炉体（1），炉体（1）内侧的炉底经支撑柱（2）与坩埚（3）连接，坩埚（3）外壁与炉体（1）内壁间由内向外依次设有加热器（4）和侧壁保温层（5）；处于坩埚（3）上方的炉体（1）上可拆卸连接有密封炉盖（6）；在密封炉盖（6）中心设有中心热电偶（7）；在密封炉盖（6）上、绕中心热电偶（7）由内向外还依次设有以密封炉盖（6）中心为圆心的检测内圈（8）和检测外圈（9）；所述的检测内圈（8）上分布有四个内圈热电偶（10），相邻两内圈热电偶（10）间隔90°；所述的检测外圈（9）上分布有四个外圈热电偶（11），相邻两外圈热电偶（11）间隔90°；所述的内圈热电偶（10）和外圈热电偶（11）沿密封炉盖（6）的径向对齐；所述的中心热电偶（7）、内圈热电偶（10）和外圈热电偶（11）均沿炉体（1）的轴向设有上层感温元件（12），中层感温元件（13）和下层感温元件（14）；所述的上层感温元件（12），中层感温元件（13）和下层感温元件（14）均处于坩埚（3）内。
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