[实用新型]一种静电势阱磁约束装置有效
| 申请号： | 201920085769.6 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN209741261U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 陈大民;党卫安 | 申请（专利权）人： | 东莞市鑫钛极真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 44371 东莞众业知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 何恒韬<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种静电势阱磁约束装置，包括筒体、电磁线圈、第一电源、第二电源和截止阀，所述电磁线圈与第二电源电连接，所述电磁线圈套设于筒体的外侧以使筒体内形成电磁场，所述筒体内装设有电极环，所述电极环的一端与第一电源电连接，所述筒体设有开口，所述电极环的另一端穿过开口与截止阀电连接，所述筒体接地线。本实用新型能对脱离靶材的等离子体进行加功，以此使全部等离子体能溅射到基材上，有效提高溅射效果，稳定溅射质量。 | ||
| 搜索关键词： | 筒体 电极环 溅射 本实用新型 电源电连接 电磁线圈 截止阀 电源 开口 等离子体 体内 电磁场 等离子 磁约束 电磁线 电连接 接地线 静电势 靶材 基材 圈套 体能 穿过 脱离 | ||
【主权项】：
1.一种静电势阱磁约束装置，其特征在于：包括筒体、电磁线圈、第一电源、第二电源和截止阀，所述电磁线圈与第二电源电连接，所述电磁线圈套设于筒体的外侧以使筒体内形成电磁场，所述筒体内装设有电极环，所述电极环的一端与第一电源电连接，所述筒体设有开口，所述电极环的另一端穿过开口与截止阀电连接，所述筒体接地线。/n
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