[实用新型]一种真空镀膜用旋转式开合挡板有效
| 申请号： | 201920091946.1 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN209481776U | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 熊凯;褚景豫;杨元才;王慧峰;钱鹏亮 | 申请（专利权）人： | 上海福宜真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201821 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜用旋转式开合挡板，旋转装置固定在真空镀膜设备上，在真空镀膜设备的下方设置若干根第一连接柱，连接固定旋转导轨固定板，在旋转导轨固定板上设置旋转导轨槽；在旋转导轨槽内设置若干个滚轮；在滚轮设置在第二连接柱的一端；第二连接柱的另一端连接固定圆弧齿条；在圆弧齿条的后侧固定挡板；在圆弧齿条上啮合小齿轮；小齿轮上设置与旋转装置相连接的旋转轴。利用旋转装置带动圆弧齿条以及挡板在旋转导轨槽内做圆弧或者圆周运动；保证了挡板在真空镀膜设备内进行圆周运动，解决了在镀膜设备中不需要安装多块的挡板的不足，降低了生产的成本，解决了挡板与挡板之间缝隙没有办法全部覆盖的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 挡板 旋转导轨 真空镀膜设备 旋转装置 圆弧齿条 连接柱 旋转式开合 圆周运动 真空镀膜 固定板 滚轮 本实用新型 啮合小齿轮 镀膜设备 固定挡板 固定圆弧 连接固定 一端连接 小齿轮 旋转轴 齿条 多块 覆盖 保证 生产 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜用旋转式开合挡板，包括真空镀膜设备、旋转装置、旋转密封装置、旋转导轨固定板、旋转导轨槽、滚轮、小齿轮、圆弧齿条、挡板；所述的旋转装置固定在真空镀膜设备上，在真空镀膜设备的下方设置若干根第一连接柱，连接固定旋转导轨固定板，其特征在于，在所述的旋转导轨固定板上设置旋转导轨槽；在旋转导轨槽内设置若干个滚轮；在滚轮设置在第二连接柱的一端；第二连接柱的另一端连接固定圆弧齿条；在圆弧齿条的后侧固定挡板；在圆弧齿条上啮合所述的小齿轮；所述的小齿轮上设置与旋转装置相连接的旋转轴。
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