[实用新型]一种抛光液分流装置有效
| 申请号： | 201920106425.9 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN209364399U | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 张泽芳;张文娟 | 申请（专利权）人： | 临汾博利士纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B57/00 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 邓声菊 |
| 地址： | 041500 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种抛光液分流装置，包括过滤箱体、进液管、拉环、盖板、第一固定板、第二固定板、滤筒、滤孔、电机、转轴、分流管、控制阀、分流板和喷孔；过滤箱体的上端开口处设置有盖板；过滤箱体的顶部侧壁上设置有进料口，进料口处安装有进液管；滤筒位于第一固定板和第二固定板内，并分别与第一固定板和第二固定板转动连接；滤筒的外周面上等间距设置有滤孔；转轴的顶端与滤筒连接，转轴的底端与电机的输出端连接；过滤箱体外周面的底部上均匀设置有多组分流出口；分流管上安装有控制阀；且分流板的底面均匀设置有多组喷孔。本实用新型实现了在对抛光液进行分流时，通过过滤除杂，提高抛光液的质量，使得晶片平整度，晶片表面质量得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 固定板 过滤箱体 抛光液 滤筒 转轴 分流装置 均匀设置 分流板 分流管 进液管 控制阀 盖板 滤孔 外周 电机 本实用新型 等间距设置 输出端连接 顶部侧壁 分流出口 过滤除杂 进料口处 晶片表面 上端开口 转动连接 进料口 平整度 组喷孔 底端 底面 晶片 拉环 喷孔 分流 | ||
【主权项】：
1.一种抛光液分流装置，其特征在于，包括过滤箱体(1)、进液管(2)、拉环(3)、盖板(4)、第一固定板(5)、第二固定板(6)、滤筒(7)、滤孔(8)、电机(9)、转轴(10)、分流管(11)、控制阀(12)、分流板(13)和喷孔(14)；过滤箱体(1)为上端开口的中空结构；过滤箱体(1)的上端开口处设置有盖板(4)；盖板(4)上安装有拉环(3)；过滤箱体(1)的顶部侧壁上设置有进料口，进料口处安装有进液管(2)；过滤箱体(1)内壁上分别设置有第一固定板(5)和第二固定板(6)；第一固定板(5)位于第二固定板(6)的上方；且第一固定板(5)和第二固定板(6)为均为环形板结构；滤筒(7)位于第一固定板(5)和第二固定板(6)内，并分别与第一固定板(5)和第二固定板(6)转动连接；滤筒(7)的外周面上等间距设置有滤孔(8)；滤筒(7)的内壁上套设有滤袋；转轴(10)的顶端与滤筒(7)连接，转轴(10)的底端与电机(9)的输出端连接；过滤箱体(1)外周面的底部上均匀设置有多组分流出口；分流出口位于第二固定板(6)与过滤箱体(1)的连接处；分流管(11)进料端与过滤箱体(1)的分流出口连接；分流管(11)的出料端与分流板(13)连接；分流管(11)上安装有控制阀(12)；分流板(13)为中空结构，且分流板(13)的底面均匀设置有多组喷孔(14)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于临汾博利士纳米材料有限公司，未经临汾博利士纳米材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920106425.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
