[实用新型]一种承载大小可调节式石英舟有效
| 申请号： | 201920113201.0 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN209328861U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 孔超;郭辉;徐亮荣 | 申请（专利权）人： | 扬州美和光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 扬州润中专利代理事务所(普通合伙) 32315 | 代理人： | 谢东 |
| 地址： | 225000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种承载大小可调节式石英舟。该石英舟包括第一支撑腿和第二支撑腿，第一支撑腿和第二支撑腿相互平行设置，第一支撑腿开有第一通槽和第二通槽，第一通槽相对垂直于第二通槽，第一通槽相对于水平面成45°夹角，第一通槽、第二通槽较低的一端位于支撑腿下端，第一通槽、第二通槽的两边沿通槽方向各设有限位孔，限位孔内设有限位销，第二支撑腿和第一支撑腿结构相同，第二支撑腿包括第三通槽和第四通槽；第一支撑腿和第二支撑腿之间设有结构相同的第一石英柱和第二石英柱；第一石英柱的两端分别穿过第一通槽和第三通槽，第二石英柱的两端分别穿过第二通槽和第四通槽。本实用新型通过调节石英柱位置起调节石英舟承载大小的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 通槽 支撑腿 石英柱 石英舟 本实用新型 可调节式 承载 支撑腿结构 穿过 平行设置 限位孔 位孔 下端 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种承载大小可调节式石英舟，包括第一支撑腿和第二支撑腿，第一支撑腿和第二支撑腿相互平行设置，其特征在于：所述第一支撑腿开有相对称的第一通槽和第二通槽，第一通槽位于第二通槽左侧，第一通槽相对垂直于第二通槽，第一通槽相对于水平面成45°夹角，第一通槽、第二通槽最低端位于第一支撑腿下端，第一通槽、第二通槽的两边沿通槽方向各设有限位孔，限位孔内设有限位销，第二支撑腿和第一支撑腿结构相同，第二支撑腿包括第三通槽和第四通槽；所述第一支撑腿和第二支撑腿之间设有结构相同的第一石英柱和第二石英柱；第一石英柱的两端分别穿过第一通槽和第三通槽，第二石英柱的两端分别穿过第二通槽和第四通槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
