[实用新型]气密阀件及使用气密阀件的真空泵浦结构

摘要

一种气密阀件及使用气密阀件的真空泵浦结构包括一致动单元、一套筒、一杆体、一阀体、一弹簧、一空心状柱体及至少一密封环。套筒连接致动单元，并具有一穿孔贯通套筒，其中穿孔具有一容置段，且容置段的孔径大于穿孔其他部分的孔径。杆体的一端穿过穿孔并连接致动单元，杆体的另一端连接阀体。阀体连接空心状柱体，使得部分杆体及弹簧位于中心状柱体的隔离空间内。弹簧套置于套筒上，并分别抵置于致动单元与阀体。密封环套设于杆体，并位于容置段内。气密阀件可避免气体通过容置段的内壁与杆体之间的缝隙，而空心状柱体则可隔离杆体或弹簧产生的微粒子。