[实用新型]一种晶圆的激光冷切装置有效
| 申请号： | 201920122669.6 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN209681421U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 王祖传;陈兴红;卢瑾;高媛;陈强 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和兴电子有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/14 | 分类号： | B23K26/14;B23K26/38;B23K26/142 |
| 代理公司： | 11427 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 陈娟<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆的激光冷切装置，包括激光切割箱，所述激光切割箱上壁左右两端对称设置有电机，所述电机远离激光切割箱一侧输出轴顶端位置设置有第一皮带轮，所述激光切割箱上壁中部位置设置有鼓风机，所述激光切割箱内腔上部位置对称设置有丝杆，所述丝杆位于激光切割箱内腔顶部位置对称设置有固定杆，所述丝杆位于激光切割箱内腔顶端位置与固定杆转动连接，所述丝杆外部位置设置有调节块，本实用新型涉及晶圆激光切割设备技术领域，具体为一种晶圆的激光冷切装置，达到了解决传统的激光切割切割效率低下，同时切割过程产生污染的烟气，切割的碎屑由于高温容易粘附在设备内部不容易清理问题的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 激光切割 丝杆 箱内腔 本实用新型 顶端位置 对称设置 冷切装置 固定杆 箱上壁 种晶 电机 激光 激光切割设备 鼓风机 顶部位置 两端对称 切割过程 切割效率 上部位置 设备内部 外部位置 中部位置 转动连接 传统的 皮带轮 输出轴 晶圆 碎屑 烟气 粘附 切割 污染 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆的激光冷切装置，包括激光切割箱(1)，其特征在于：所述激光切割箱(1)上壁左右两端对称设置有电机(2)，所述电机(2)远离激光切割箱(1)一侧输出轴顶端位置设置有第一皮带轮(3)，所述激光切割箱(1)上壁中部位置设置有鼓风机(4)，所述激光切割箱(1)内腔上部位置对称设置有丝杆(5)，所述丝杆(5)位于激光切割箱(1)内腔顶部位置对称设置有固定杆(6)，所述丝杆(5)位于激光切割箱(1)内腔顶端位置与固定杆(6)转动连接，所述丝杆(5)外部位置设置有调节块(7)，所述激光切割箱(1)内腔且位于丝杆(5)上部位置设置有滑竿(8)，所述滑竿(8)外壁位置设置有滑块(9)，所述调节块(7)上部外壁位置固定连接有第一连接杆(10)，所述第一连接杆(10)位于滑块(9)一端与滑块(9)固定连接，所述调节块(7)底部位置固定连接有第二连接杆(11)，所述固定杆(6)底部位置固定连接有挡板(12)，所述第二连接杆(11)贯穿挡板(12)底部位置固定连接有激光切割头(13)，所述激光切割箱(1)中部位置设置有通气管(14)，所述通气管(14)位于挡板(12)下部位置固定连接有出气头(15)，所述激光切割箱(1)内腔靠近中部位置设置有固定框(16)，所述固定框(16)上部位置对称设置有固定台(17)，所述固定台(17)上壁位置设置有固定架(18)，所述激光切割箱(1)内腔底部位置设置有收纳箱(19)。/n
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