[实用新型]一种带有沟槽结构的高压宽禁带二极管芯片有效
申请号: | 201920122961.8 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN209216978U | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | 黄兴;陈欣璐 | 申请(专利权)人: | 派恩杰半导体(杭州)有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/861 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310053 浙江省杭州市滨江区浦*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供一种带有沟槽结构的高压宽禁带二极管芯片。本实用新型通过在有源区和结终端区域引入统一的沟槽结构,使得芯片可以用同一套工艺实现两个区域的加工,大大降低产品加工成本。 | ||
搜索关键词: | 沟槽结构 本实用新型 二极管芯片 宽禁带 产品加工成本 工艺实现 结终端 源区 芯片 引入 加工 统一 | ||
【主权项】:
1.一种带有沟槽结构的高压宽禁带二极管芯片,其特征在于,包括:底部阴极电极层(001),重掺杂N型半导体材料层(002),轻掺杂的N型半导体材料层(003),从表面伸入轻掺杂的N型半导体材料层(003)的沟槽结构(004);所述沟槽结构(004)的底部与侧壁被P型半导体材料(005)包围;所述高压宽禁带二极管芯片分为有源区(A1)与结终端区域(A2),在有源区(A1)顶部设有阳极电极层(006),在结终端区域(A2)顶部设有钝化层(007)。
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