[实用新型]一种激光冲孔装置有效
申请号: | 201920129394.9 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN209664573U | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 黄江波;张懿鑫;朱文宇 | 申请(专利权)人: | 西安中科微精光子制造科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/067 | 分类号: | B23K26/067;B23K26/382;B23K26/70 |
代理公司: | 44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 曹卫良<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 710119 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种激光冲孔装置,包括光源模块、光路传输模块、激光调制模块、聚焦模块和控制模块。光源模块用于发射第一激光。光路传输模块、激光调制模块和聚焦模块沿光路依次设置。激光调制模块包括可移动进出光路的分束器和整形器,分束器用于将第一激光分成至少两束第二激光,整形器用于对第一激光进行整形。光源模块、分束器和整形器均和控制模块连接,控制模块用于控制光源模块发射激光的参数,控制模块用于控制分束器和整形器进出光路。聚焦模块用于将第一激光和第二激光聚焦至基材表面。上述激光冲孔装置解决冲孔时基材的涂层材料易开裂、翘曲甚至剥落的问题,以及孔径大小难以控制,内壁质量差的问题。 | ||
搜索关键词: | 激光 光源模块 控制模块 分束器 整形器 激光调制模块 聚焦模块 光路 光路传输 激光冲孔 基材表面 激光聚焦 涂层材料 依次设置 发射 可移动 质量差 整形 冲孔 均和 内壁 翘曲 时基 剥落 | ||
【主权项】:
1.一种激光冲孔装置,其特征在于,包括光源模块、光路传输模块、激光调制模块、聚焦模块和控制模块;/n所述光源模块用于发射第一激光;/n所述光路传输模块、所述激光调制模块和所述聚焦模块沿光路依次设置;/n所述激光调制模块包括分束器和整形器,所述分束器可移动进出所述光路,所述整形器可移动进出所述光路,所述分束器用于将所述第一激光分成至少两束第二激光,所述整形器用于对所述第一激光进行整形,使所述第一激光焦点处光斑的边缘能量高于中心能量;/n所述光源模块、所述分束器和所述整形器均和所述控制模块连接,所述控制模块用于控制所述光源模块发射激光的参数,所述控制模块用于控制所述分束器进出所述光路,所述控制模块用于控制所述整形器进出所述光路;/n所述聚焦模块用于将所述第一激光和所述第二激光聚焦至基材表面。/n
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