[实用新型]叠片固化装置有效
| 申请号： | 201920136125.5 | 申请日： | 2019-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN209401600U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 左国军;伍斌;冼志军;罗搏飞 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创智能装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/048 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 尹彦;胡朝阳 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种叠片固化装置，包括：传送料片的叠片吸附运输皮带机构，与所述叠片吸附运输皮带机构配合进行叠片的叠片机械手，承装叠放好的料片的吸附工装治具，用于固化所述叠放好的料片的加热结构，将装好所述叠放好的料片的所述吸附工装治具传送至所述加热结构的传送机构。本实用新型的叠片固化装置将皮带运输与加热分开，提升了叠片的精度和工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 叠片 吸附 固化装置 叠放 料片 本实用新型 工装治具 加热结构 运输皮带 叠片机械手 传送机构 传送料片 工作效率 机构配合 皮带运输 固化 加热 传送 | ||
【主权项】：
1.一种叠片固化装置，其特征在于,包括：传送料片的叠片吸附运输皮带机构，与所述叠片吸附运输皮带机构配合进行叠片的叠片机械手，承装叠放好的料片的吸附工装治具，用于固化所述叠放好的料片的加热结构，将装好所述叠放好的料片的所述吸附工装治具传送至所述加热结构的传送机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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