[实用新型]一种硅片生产用上料装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片生产用上料装置，包括底座和硅片卡座，硅片卡座设有若干个，硅片卡座设置在底座的内部，且硅片卡座均与底座滑动连接，硅片卡座包括料架，料架顶部的中央位置开设有放料槽，料架一侧的侧壁上固定连接有第一卡块，料架对应第一卡块的上方和下方均开设有第一卡槽，料架远离第一卡块一侧的侧壁上开设有第二卡槽，本实用新型一种硅片生产用上料装置结构紧凑，方便使用，通过设置在底座上的若干料架，可以同时存放大量的硅片，并且料架采用可单独活动式的结构，料架可以在底座上滑动，同时按动按钮，即可实现料架的复位，使得硅片的拿取更为便捷，使得加工效率大大提高。

主权项

1.一种硅片生产用上料装置，包括底座(1)和硅片卡座(3)，其特征在于，所述硅片卡座(3)设有若干个，所述硅片卡座(3)设置在底座(1)的内部，且所述硅片卡座(3)均与底座(1)滑动连接，所述硅片卡座(3)包括料架(4)，所述料架(4)顶部的中央位置开设有放料槽(5)，所述料架(4)一侧的侧壁上固定连接有第一卡块(6)，所述料架(4)对应第一卡块(6)的上方和下方均开设有第一卡槽(7)，所述料架(4)远离第一卡块(6)一侧的侧壁上开设有第二卡槽(8)，所述第二卡槽(8)的上方和下方均设有第二卡块(9)，所述第二卡块(9)与料架(4)的侧壁固定连接，所述底座(1)靠近第一卡块(6)一侧的内侧上开设有第三卡槽(10)，所述第三卡槽(10)的下方设有第三卡块(11)，所述第三卡块(11)与底座(1)的内侧壁固定连接，所述底座(1)靠近第二卡块(9)一侧的内壁上对应开设有第四卡槽(13)，所述第四卡槽(13)的上方设有第四卡块(12)，所述第四卡块(12)与底座(1)固定连接，每组所述料架(4)底部的一端固定连接有第一滑块(15)，所述底座(1)内底部的侧壁上对应第一滑块(15)开设有第一滑槽(16)，所述第一滑块(15)与第一滑槽(16)滑动连接，所述第一滑槽(16)的内部设有第一弹性弹簧(17)，所述第一弹性弹簧(17)的一端与第一滑块(15)固定连接，所述第一弹性弹簧(17)的另一端与第一滑槽(16)内部远离第一滑块(15)一端的侧壁固定连接，所述第一滑块(15)的底部固定连接有第二滑块(18)，所述第一滑槽(16)的内底部对应第二滑块(18)开设有第二滑槽(19)，所述第二滑块(18)与第二滑槽(19)滑动连接，所述第二滑槽(19)远离第二滑块(18)一端内底部开设有第三滑槽(20)，所述第三滑槽(20)的内部滑动连接有第三滑块(21)，所述第三滑块(21)的底部固定连接有第二弹性弹簧(22)，所述第二弹性弹簧(22)设置在第三滑槽(20)的内部，且所述第二弹性弹簧(22)的另一端与第三滑槽(20)的内底部固定连接，所述第三滑块(21)靠近第二滑块(18)的一侧设有推块(25)，所述推块(25)远离第三滑块(21)的一侧固定连接有推杆(26)，所述推杆(26)和推块(25)均与底座(1)滑动连接，所述推杆(26)的杆壁上固定连接有第二限位滑块(28)，所述底座(1)对应第二限位滑块(28)开设有第二限位滑槽(27)，所述第二限位滑块(28)滑动连接在第二限位滑槽(27)的内部，所述第二限位滑槽(27)内部推杆(26)的杆壁上套接有第三弹性弹簧(29)，所述第三弹性弹簧(29)设置在第二限位滑块(28)靠近推块(25)的一侧。/n