[实用新型]一种单晶炉炉筒清理装置

摘要

本实用新型涉及一种清理装置，具体涉及一种单晶炉炉筒清理装置。包括安装壳体，安装壳体侧部设有两个开口；喷气机构设于安装壳体内，包括空气泵；空气泵与进气管一端相连，另一端与其中一开口相连，空气泵出气口通过歧管与喷气管相连；吸尘机构设于安装壳体内，包括抽气泵；抽气泵与控制电路板进行电连接；过滤器一侧通过导流管连接吸尘管，另一侧设有开口并通过连接管与抽气泵进气口相连，抽气泵出气口通过排气管与安装壳体侧部的另一开口相连；清理装置设于安装壳体上方，包括固定盘；固定盘上端面连接有压盘；压盘上端面上设有环形刷子。本实用新型能够有效清理单晶炉炉筒内的灰尘，且能将灰尘收集，以此完成对副炉室炉筒的清理。

主权项

1.一种单晶炉炉筒清理装置，其特征在于，包括安装壳体、清理装置、喷气机构和吸尘机构；/n所述安装壳体外侧部设有电源线和控制开关，顶部设有喷气开关、吸尘开关、喷气管和吸尘管；内部侧壁上设有控制电路板；所述电源线、控制开关、喷气开关和吸尘开关分别与控制电路板进行电性连接；/n所述喷气机构设于安装壳体内一侧，包括设于安装壳体底部的空气泵；空气泵进气口与进气管一端相连，安装壳体侧部设有两个开口，开口处设有过滤网，进气管另一端与其中一开口相连；所述空气泵与控制电路板进行电连接，空气泵出气口通过歧管与所述喷气管相连；/n所述吸尘机构设于安装壳体内另一侧，包括设于安装壳体底部的过滤器和抽气泵；所述抽气泵与控制电路板进行电连接；过滤器一侧通过导流管连接吸尘管，另一侧设有开口并通过连接管与抽气泵进气口相连，抽气泵出气口通过排气管与安装壳体侧部的另一开口相连；/n所述清理装置设于安装壳体上方，包括固定盘；固定盘中心处设有竖向通孔，固定盘上还设有竖向的进气孔，进气孔与所述喷气管相连；固定盘侧部外缘设有环状凹槽，环状凹槽内装设有气囊，固定盘上端面设有若干凸台；固定盘通过凸台与螺栓连接有压盘，压盘中心设有向下延伸的管状延长段；延长段装配于固定盘中心处的孔内,延长段端口与所述吸尘管相连；压盘上端面上设有环形刷子。/n