[实用新型]一种水性蚀刻光阻剂用输送装置有效
| 申请号： | 201920155961.8 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN209604903U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 钟水英;何伟富;何伟豪 | 申请（专利权）人： | 广州森川合成材料有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/18 | 分类号： | F17D1/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511400 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻胶输送技术领域，且公开了一种水性蚀刻光阻剂用输送装置,包括光刻胶贮存罐和与光刻胶贮存罐相连通的输送管，输送管的管壁固定设有减速电机，减速电机的输出端通过联轴器固定连接有往复丝杆，往复丝杆的左右两端均固定套接有限位块，且限位块与输送管的外部固定连接设置，往复丝杆的杆壁活动套设有滑管，两个限位块之间设有限位杆，限位杆的一端贯穿滑管的侧壁并向外延伸设置，限位杆的两端分别与两个限位块的侧壁固定连接设置，输送管的外壁对称设有两个弧形板。本实用新型能够对输送管进行均匀地加热，从而防止光阻剂的凝结，保证光阻剂在涂敷时厚度的均匀性，便于人们的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 输送管 光阻剂 往复丝杆 光刻胶 限位块 蚀刻 本实用新型 减速电机 输送装置 限位杆 贮存罐 侧壁 滑管 联轴器固定 延伸设置 固定套 弧形板 活动套 均匀性 输出端 杆壁 管壁 涂敷 外壁 位杆 位块 加热 对称 凝结 贯穿 外部 保证 | ||
【主权项】：
1.一种水性蚀刻光阻剂用输送装置，包括光刻胶贮存罐(1)和与光刻胶贮存罐(1)相连通的输送管(2)，其特征在于，所述输送管(2)的管壁固定设有减速电机(3)，所述减速电机(3)的输出端通过联轴器固定连接有往复丝杆(4)，所述往复丝杆(4)的左右两端均固定套接有限位块(5)，且限位块(5)与输送管(2)的外部固定连接设置，所述往复丝杆(4)的杆壁活动套设有滑管(6)，两个所述限位块(5)之间设有限位杆(7)，所述限位杆(7)的一端贯穿滑管(6)的侧壁并向外延伸设置，所述限位杆(7)的两端分别与两个限位块(5)的侧壁固定连接设置，所述输送管(2)的外壁对称设有两个弧形板(8)，两个所述弧形板(8)内均固定安装有加热管(16)，其中一个所述弧形板(8)相向另一个所述弧形板(8)的底部固定连接有转块(9)，另一个所述弧形板(8)的侧壁开设有与转块(9)相匹配的通槽，所述转块(9)通过转轴(10)与通槽转动连接，两个所述弧形板(8)均通过固定机构与滑管(6)固定连接设置。
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