[实用新型]等离子刻蚀机有效
| 申请号： | 201920168082.9 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN209216915U | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 张小林;白家均;刘文慧 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/32;H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 董亚军 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子刻蚀机，属于半导体技术领域。等离子刻蚀机包括：腔体；位于腔体中的两个电极，两个电极包括第一电极和第二电极，第一电极上设置有待刻蚀件放置台，第二电极位于待刻蚀件放置台远离第一电极的一侧；金属挡板，金属挡板位于第二电极和待刻蚀件放置台之间，金属挡板上设置有多个通孔；工艺气体导管，工艺气体导管的一端位于金属挡板和第二电极之间。相较于陶瓷板之间的间隙，金属挡板上的通孔的位置以及分布容易调整，因而可以根据工艺气体的分布情况来调整通孔的位置和分布，以提高工艺气体分布的均匀性。解决了相关技术中待刻蚀件不同区域刻蚀的均匀性较差的问题，达到了提高刻蚀的均匀性的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 金属挡板 第二电极 工艺气体 刻蚀件 等离子刻蚀机 第一电极 放置台 均匀性 通孔 电极 导管 刻蚀 腔体 半导体技术领域 本实用新型 陶瓷板 | ||
【主权项】：
1.一种等离子刻蚀机，其特征在于，所述等离子刻蚀机包括：腔体；位于腔体中的两个电极，所述两个电极包括第一电极和第二电极，所述第一电极上设置有待刻蚀件放置台，所述第二电极位于所述待刻蚀件放置台远离所述第一电极的一侧；金属挡板，所述金属挡板位于所述第二电极和所述待刻蚀件放置台之间，所述金属挡板上设置有多个通孔；工艺气体导管，所述工艺气体导管的一端位于所述金属挡板和所述第二电极之间。
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