[实用新型]一种单晶炉副室清洁器有效
申请号: | 201920171793.1 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN209779039U | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 潘燕萍;朱海军 | 申请(专利权)人: | 常州市乐萌压力容器有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 32294 常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 何学成 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及硅单晶制备技术领域,尤其是涉及一种单晶炉副室清洁器。该种单晶炉副室清洁器,包括清洁刷和手持杆,所述手持杆的一端连接对称分布的连接杆,所述手持杆装有可移动的连接套,所述连接套上设置对称的短杆,所述短杆连接在有推杆的一端上;支撑杆与所述推杆的另一端连接,所述支撑杆的两端分别与连接杆和清洁刷固定。该种单晶炉副室清洁器在清理副室时,与副室内壁接触面积增大且直径可调整,清理效果好,可以适用不同型号的单晶炉副室。该清理器的结构紧凑、简单、适用性强,有效地克服了原有清理工具工作效率低、适用性差等缺点。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉副室 清洁器 手持杆 推杆 一端连接 连接杆 连接套 清洁刷 支撑杆 短杆 本实用新型 硅单晶制备 对称分布 工作效率 面积增大 清理工具 可调整 可移动 清理器 室内壁 有效地 副室 对称 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉副室清洁器,包括清洁刷(4)和手持杆(9),其特征在于:所述手持杆(9)的一端连接对称分布的连接杆(1),所述手持杆(9)装有可移动的连接套(7),所述连接套(7)上设置对称的短杆(10),所述短杆(10)连接在有推杆(6)的一端上;支撑杆(3)与所述推杆(6)的另一端连接,所述支撑杆(3)的两端分别与所述连接杆(1)和所述清洁刷(4)固定。/n
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