[实用新型]一种带有自动清洗功能的单晶炉炉体有效
申请号: | 201920172725.7 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN210262071U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 潘燕萍;朱海军 | 申请(专利权)人: | 常州市乐萌压力容器有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙) 32294 | 代理人: | 何学成 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及晶体生产设备领域,具体涉及一种带有自动清洗功能的单晶炉炉体,具有提拉头、副炉室、炉盖、炉筒、炉底盘,在副炉室顶端设有一进气口和进水口,所述进气口和进水口下方,且在副炉室、炉盖以及炉筒内分别设有两条等长的进气管和进水管,所述进气管与进水管上水平接入若干环形流体道,所述环形流体道上设有若干孔洞,所述孔洞上接有若干喷雾头。本单晶炉炉体无需人工进行清洗,也无需拆机进行清洗,清洗效率高,清洁干净。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 自动 清洗 功能 单晶炉炉体 | ||
【主权项】:
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