[实用新型]微机电泵模块有效

专利信息
申请号: 201920173338.5 申请日: 2019-01-31
公开(公告)号: CN209925181U 公开(公告)日: 2020-01-10
发明(设计)人: 莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;蔡长谚 申请(专利权)人: 研能科技股份有限公司
主分类号: F04B49/06 分类号: F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03
代理公司: 31100 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 喻学兵
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种微机电泵模块,包含一微机电芯片。微机电芯片包含:一芯片本体,为一长方形态样,具有二长边以及二短边;多个微机电泵,设置于芯片本体,且分别具有一第一电极及一第二电极;多个第一连接点,设置于芯片本体,且电性连接微机电泵的第一电极;多个第二连接点,设置于芯片本体,且电性连接微机电泵的第二电极;至少一第一控制电极,设置于芯片本体,且电性连接第一连接点;以及至少一第二控制电极,设置于芯片本体,且电性连接第二连接点。至少一第一控制电极以及至少一第二控制电极分别设置在芯片本体的相对两侧。
搜索关键词: 芯片本体 电性连接 控制电极 微机电泵 连接点 微机电芯片 第二电极 第一电极 相对两侧 长边 短边
【主权项】:
1.一种微机电泵模块,其特征在于,包含:/n一微机电芯片,包含:/n一芯片本体,为一长方形态样,具有二长边以及二短边;/n多个微机电泵,设置于该芯片本体,且分别具有一第一电极及一第二电极;/n多个第一连接点,设置于该芯片本体,且电性连接该多个微机电泵的该第一电极;/n多个第二连接点,设置于该芯片本体,且电性连接该多个微机电泵的该第二电极;/n至少一第一控制电极,设置于该芯片本体,且电性连接该多个第一连接点;以及/n至少一第二控制电极,设置于该芯片本体,且电性连接该多个第二连接点;/n其中,该至少一第一控制电极以及该至少一第二控制电极分别设置在该芯片本体的相对两侧。/n
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