[实用新型]一种用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电路系统有效
| 申请号： | 201920175243.7 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN209446186U | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 伍凯 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/24 | 分类号： | G01K7/24 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 苗娟;奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型的一种用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电路系统，可解决现有技术激光器光源温度变化难以测量影响曝光质量的技术问题。包括电源电路转换模块、信号采集处理模块及输入输出接口模块，所述电源电路转换模块包括外接电源输入端和电源转换模块，外接电源输入端一端与外部电源连接，另一端连接到电源转换模块的输入端；电源转换模块与所述信号采集处理模块连接，用于给信号采集处理模块供电；信号采集处理模块包括热敏电阻模块，热敏电阻模块集成在直写式光刻机曝光光源上；输入输出接口包括分别与采集处理模块连接的输入端接线端子和输出端接线端子。本实用新型的电路板可同时采集多路激光器热敏电阻反馈的信号，实用性强，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 信号采集处理模块 电源转换模块 直写式光刻机 曝光光源 输入端 反馈信号采集电路 热敏电阻模块 本实用新型 电源电路 外接电源 转换模块 输入输出接口模块 激光器热敏电阻 输出端接线端子 输入端接线端子 采集处理模块 输入输出接口 电路板 激光器光源 测量影响 外部电源 一端连接 多路 采集 反馈 供电 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电路系统，包括电源电路转换模块、信号采集处理模块及输入输出接口模块，其特征在于：所述电源电路转换模块包括外接电源输入端和电源转换模块，所述外接电源输入端一端与外部电源连接，另一端连接到电源转换模块的输入端；所述电源转换模块与所述信号采集处理模块连接，用于给信号采集处理模块供电；所述信号采集处理模块包括热敏电阻模块，所述热敏电阻模块集成在直写式光刻机曝光光源上；所述输入输出接口包括分别与采集处理模块连接的输入端接线端子和输出端接线端子。
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