[实用新型]一种MO源供应装置有效
| 申请号： | 201920176887.8 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN209702860U | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 顾宏伟;茅嘉原;严金林;邓辉 | 申请（专利权）人： | 苏州普耀光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448 |
| 代理公司： | 32293 苏州国诚专利代理有限公司 | 代理人： | 刘彦<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 215124 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MO源供应装置，包括液体MO源储存罐、固体MO源储存罐和有机溶剂吸附柱，所述固体MO源储存罐的进气口处连接有一高纯载气进气管，固体MO源储存罐的出气口处连接有一高纯载气出气管，该高纯载气出气管的出气端从液体MO源储存罐的左侧插入到液体MO源储存罐的底部，液体MO源储存罐的右侧出口连接有一MO源供给管，该MO源供给管的出口与一有机溶剂吸附柱连接，有机溶剂吸附柱的出口连接MO源钢瓶，所述固体MO源储存罐中储存有固体MO源，所述液体MO源储存罐中储存有溶解于有机溶剂的MO源。本实用新型将液体MO源储存罐和固体MO源储存罐结合，保证充入MO源钢瓶内的MO源浓度，并且可以有效去除MO源中的有机溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 储存罐 有机溶剂吸附 高纯 载气 本实用新型 出口连接 有机溶剂 出气管 供给管 钢瓶 进气口 出气口处 供应装置 出气端 进气管 柱连接 去除 溶解 出口 保证 | ||
【主权项】：
1.一种MO源供应装置，其特征在于：包括液体MO源储存罐、固体MO源储存罐和有机溶剂吸附柱，所述固体MO源储存罐的进气口处连接有一高纯载气进气管，固体MO源储存罐的出气口处连接有一高纯载气出气管，该高纯载气出气管的出气端从液体MO源储存罐的左侧插入到液体MO源储存罐的底部，液体MO源储存罐的右侧出口连接有一MO源供给管，该MO源供给管的出口与一有机溶剂吸附柱连接，有机溶剂吸附柱的出口通过管路连接MO源钢瓶，所述固体MO源储存罐中储存有固体MO源，所述液体MO源储存罐中储存有溶解于有机溶剂的MO源，固体MO源储存罐为液体MO源储存罐补充MO源，有机溶剂吸附柱中设有用于吸附有机溶剂的填充物。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
