[实用新型]一种单晶炉用坩埚驱动装置有效
| 申请号： | 201920179731.5 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN210177003U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 潘燕萍;朱海军 | 申请（专利权）人： | 常州市乐萌压力容器有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30 |
| 代理公司： | 常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙) 32294 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型属于晶体生长设备技术领域，具体涉及一种单晶炉用坩埚驱动装置。该驱动装置具有坩埚轴、埚升装置和埚转装置，所述的埚升装置由底座、导轨座和埚升电机组成，导轨座设置在底座上，导轨座和底座间设置有筋板，导轨座上固定有丝杆，丝杆顶部设置有埚升电机，丝杆通过设置的联轴器与坩埚轴连接；所述的埚转装置为埚转电机，埚转电机与坩埚轴电性连接；所述的坩埚轴竖直方向两个设置有波纹管，轴向设置有埚转磁流体；坩埚轴顶部设置有至少3个定位杆，坩埚轴底部设置有旋转接头，旋转接头下方分别设置有出水口和进水口，所述的进水口与出水口由设置在坩埚轴内部管道连接并相通。该坩埚驱动装置结构简单、传动平稳、强度高、使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉用 坩埚 驱动 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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