[实用新型]一种激光打标装置

摘要

本实用新型公开了一种激光打标装置，包括：样品臂光路系统、探测光路系统和参考臂光路系统；所述样品臂光路系统包括：打标光源、第一准直透镜、二维振镜组、半反半透镜、平场聚焦镜、载物台和第一驱动模块；所述参考臂光路系统包括第一光纤接头、第三准直透镜、会聚透镜和反射镜；所述探测光路系统包括第二光纤接头、第二准直透镜、探测光源、光纤耦合器、光电探测器和电脑处理终端。本实用新型基于干涉原理和光学相干层析技术，提取样品上待打标点的深度位置，实时监测对焦，驱动载物台纵向移动，追踪焦平面进行打标，装置光路简单，耗能较低，自动化程度高，准确率较高，有效提高激光打标的生产效率和生产质量。

主权项

1.一种激光打标装置，其特征在于，包括：样品臂光路系统、探测光路系统和参考臂光路系统；/n所述样品臂光路系统包括：打标光源、第一准直透镜、二维振镜组、半反半透镜、平场聚焦镜、载物台和第一驱动模块，所述载物台用于放置样品，所述第一驱动模块用于驱动载物台纵向移动；/n所述参考臂光路系统包括第一光纤接头、第三准直透镜、会聚透镜和反射镜，所述第一光纤接头、第三准直透镜、会聚透镜和反射镜光线连接，并沿着光线入射的方向依次排列；/n所述探测光路系统包括第二光纤接头、第二准直透镜、探测光源、光纤耦合器、光电探测器和电脑处理终端；/n所述打标光源、第一准直透镜和二维振镜组光线连接，所述半反半透镜将所述二维振镜组的反射光透射至平场聚焦镜中，经过平场聚焦镜聚焦后的光束射向样品；/n所述光纤耦合器分别与第一光纤接头、第二光纤接头、探测光源和光电探测器通过光纤连接，所述光电探测器和电脑处理终端电连接；/n所述探测光源发出的光束进入光纤耦合器后，被分成第一光束和第二光束，所述第一光束进入第二准直透镜，所述第二光束进入第三准直透镜；/n所述半反半透镜以45°的入射角反射所述第二准直透镜的出射光，并将其反射至平场聚焦镜上进行聚焦，聚焦后的第一光束与样品接触，并在样品的表面发生反射，反射光沿原路返回光纤耦合器；/n所述光电探测器用于捕捉产生在光纤耦合器中的干涉信号，并将其转换成电信号传递给电脑处理终端；/n所述电脑处理终端根据迈克尔逊干涉仪干涉原理将所述电信号进行处理，根据处理结果通过第一驱动模块驱动载物台纵向移动。/n