[实用新型]一种还原尾气硅粉过滤系统有效

专利信息
申请号: 201920189041.8 申请日: 2019-01-31
公开(公告)号: CN209501071U 公开(公告)日: 2019-10-18
发明(设计)人: 乌力吉;甘居富;游书华;彭中;王亚萍 申请(专利权)人: 内蒙古通威高纯晶硅有限公司
主分类号: B01D46/00 分类号: B01D46/00;B01D46/48
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王学强;罗满
地址: 014000 内蒙古自治区*** 国省代码: 内蒙古;15
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开一种还原尾气硅粉过滤系统,包括用于输送还原尾气的进气管,所述进气管与硅粉过滤器连接,所述硅粉过滤器内设有滤芯;所述硅粉过滤器连接有氢气管、出气管和用于输送硅粉的输料管,所述出气管设置在所述硅粉过滤器顶部,所述输料管设置在所述硅粉过滤器底部。使混有硅粉的还原尾气在硅粉过滤器中加热,氯硅烷气化后逸出,硅粉被滤芯阻挡后沉积在硅粉过滤器底部。在硅粉过滤器上设置氢气管对沉积的硅粉持续进行反吹,保持硅粉呈粉末状存在,不出现板结成块的情况。
搜索关键词: 硅粉过滤器 硅粉 还原尾气 硅粉过滤系统 出气管 进气管 氢气管 输料管 滤芯 沉积 本实用新型 氯硅烷 反吹 气化 逸出 加热 阻挡
【主权项】:
1.一种还原尾气硅粉过滤系统,包括用于输送还原尾气的进气管,其特征在于,所述进气管与硅粉过滤器连接,所述硅粉过滤器内设有滤芯;所述硅粉过滤器连接有氢气管、出气管和用于输送硅粉的输料管,所述出气管设置在所述硅粉过滤器顶部,所述输料管设置在所述硅粉过滤器底部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古通威高纯晶硅有限公司,未经内蒙古通威高纯晶硅有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920189041.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top