[实用新型]一种还原尾气硅粉过滤系统有效
申请号: | 201920189041.8 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN209501071U | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 乌力吉;甘居富;游书华;彭中;王亚萍 | 申请(专利权)人: | 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 |
主分类号: | B01D46/00 | 分类号: | B01D46/00;B01D46/48 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王学强;罗满 |
地址: | 014000 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开一种还原尾气硅粉过滤系统,包括用于输送还原尾气的进气管,所述进气管与硅粉过滤器连接,所述硅粉过滤器内设有滤芯;所述硅粉过滤器连接有氢气管、出气管和用于输送硅粉的输料管,所述出气管设置在所述硅粉过滤器顶部,所述输料管设置在所述硅粉过滤器底部。使混有硅粉的还原尾气在硅粉过滤器中加热,氯硅烷气化后逸出,硅粉被滤芯阻挡后沉积在硅粉过滤器底部。在硅粉过滤器上设置氢气管对沉积的硅粉持续进行反吹,保持硅粉呈粉末状存在,不出现板结成块的情况。 | ||
搜索关键词: | 硅粉过滤器 硅粉 还原尾气 硅粉过滤系统 出气管 进气管 氢气管 输料管 滤芯 沉积 本实用新型 氯硅烷 反吹 气化 逸出 加热 阻挡 | ||
【主权项】:
1.一种还原尾气硅粉过滤系统,包括用于输送还原尾气的进气管,其特征在于,所述进气管与硅粉过滤器连接,所述硅粉过滤器内设有滤芯;所述硅粉过滤器连接有氢气管、出气管和用于输送硅粉的输料管,所述出气管设置在所述硅粉过滤器顶部,所述输料管设置在所述硅粉过滤器底部。
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