[实用新型]一种刮料支撑装置有效

专利信息
申请号: 201920201605.5 申请日: 2019-02-15
公开(公告)号: CN209583007U 公开(公告)日: 2019-11-05
发明(设计)人: 李向东 申请(专利权)人: 山东才聚电子科技有限公司
主分类号: B65G47/91 分类号: B65G47/91
代理公司: 淄博佳和专利代理事务所(普通合伙) 37223 代理人: 李坤
地址: 255086 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种刮料支撑装置,属于电子元件生产设备技术领域。其特征在于:包括托盘(33)以及动力装置,托盘(33)水平设置,动力装置与托盘(33)相连并带动托盘(33)转动,托盘(33)上侧设置有用于检测晶圆位置的传感器,托盘(33)的上侧设置有吸取槽,吸取槽连接有抽真空装置。本刮料支撑装置的传感器能够检测晶圆的位置,动力装置带动托盘转动,从而调节晶圆的槽与刮刀的夹角,避免刮刀伸入晶圆的槽内,保证晶圆的槽内玻璃粉充足,进而保证产品的合格率高,吸取槽能够吸住晶圆,还能够使晶圆平整的展开在托盘上,避免晶圆由于槽的存在而发生弯曲,方便刮除玻璃粉。
搜索关键词: 托盘 晶圆 动力装置 支撑装置 吸取槽 刮料 传感器 刮刀 抽真空装置 晶圆位置 生产设备 水平设置 托盘转动 玻璃粉 内玻璃 检测 刮除 伸入 吸住 转动 平整 合格率 保证
【主权项】:
1.一种刮料支撑装置,其特征在于:包括托盘(33)以及动力装置,托盘(33)水平设置,动力装置与托盘(33)相连并带动托盘(33)转动,托盘(33)上侧设置有用于检测晶圆位置的传感器,托盘(33)的上侧设置有吸取槽,吸取槽连接有抽真空装置。
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