[实用新型]抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置有效
| 申请号： | 201920216722.9 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN209858338U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 廖德锋;谢瑞清;赵世杰;孙荣康;周炼;陈贤华;张飞虎;张清华;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08;G01N3/10 |
| 代理公司： | 11465 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 曹鹏飞 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及全口径抛光中抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置，包括固定于抛光机床横梁顶部的控制器；与控制器通信连接的显示终端；固定于横梁上的加载力执行器，且与控制器电性连接；测试板，其为圆形板；其顶部与加载力执行器铰接，其底部与抛光机床的抛光盘抵接；及位移传感器，其通过连接件固定于加载力执行器上，与控制器通信连接，且位移传感器的检测方向指向测试板的顶部。本实用新型实现了抛光盘弹性模量或蠕变特性的在位测量，无需拆卸抛光盘，操作简单，精度高；同时无需购买专用测量设备，测试成本得到降低；由于测量时无需拆卸抛光盘，防止了抛光盘的形状精度的改变，进而延长了抛光盘的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光盘 加载力 弹性模量 本实用新型 控制器通信 位移传感器 抛光机床 蠕变特性 测试板 横梁 拆卸 测量 在位测量装置 专用测量设备 控制器电性 测试成本 检测方向 使用寿命 显示终端 控制器 连接件 全口径 圆形板 抛光 抵接 铰接 在位 指向 购买 | ||
【主权项】：
1.抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置，其搭载于抛光机床(1)上，其特征在于，包括：/n控制器(4)，所述控制器(4)固定于抛光机床的横梁(2)顶部；/n显示终端，所述显示终端与所述控制器(4)通信连接；/n加载力执行器(5)，所述加载力执行器(5)固定于所述横梁(2)上，且与所述控制器(4)电性连接；/n测试板(6)，所述测试板(6)为圆形板；其顶部与所述加载力执行器(5)铰接，其底部与抛光机床的抛光盘(3)抵接；/n及位移传感器(7)，所述位移传感器(7)通过连接件固定于所述加载力执行器(5)上，与所述控制器(4)通信连接，且所述位移传感器(7)的检测方向指向所述测试板(6)的顶部。/n
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