[实用新型]一种自清洁刻蚀阳极装置有效
| 申请号： | 201920224632.4 | 申请日： | 2019-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN210065893U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 郎文昌;刘伟;刘俊红;胡晓忠 | 申请（专利权）人： | 苏州艾钛科纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/32 |
| 代理公司： | 32251 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王鑫 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种电弧离子镀自清洁刻蚀阳极装置，包括真空室、弧源、转架、阳极屏蔽罩、挡板及偏压电源、切换开关电源；弧源正电子端接刻蚀阳极上，弧源负电子端接弧靶阴极接线柱上，以此构成弧光放电阴阳极回路；阳极屏蔽罩设置在刻蚀阳极背部及侧面；挡板设置在弧靶阴极前并正对于刻蚀阳极的一侧上，阳极屏蔽罩位于挡板与刻蚀阳极之间；转架设置在真空室内；偏压电源的正极接地，偏压电源负极接切换开关电源，切换开关电源两路接头分别接通转架及刻蚀阳极，转架上设置待镀产品工位。本实用新型结构简单，能有效提高对基材清洗和刻蚀以及离子注入效果，同时可实现刻蚀阳极的自清洁，可用于刀具、模具、机械零部件等表面制备硬质防护薄膜和涂层领域。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 阳极 转架 挡板 偏压电源 切换开关 阳极屏蔽 弧源 电源 自清洁 正电子 阴极 本实用新型 电弧离子镀 机械零部件 阴极接线柱 表面制备 产品工位 防护薄膜 弧光放电 基材清洗 涂层领域 阳极装置 正极接地 负电子 负极接 真空室 可用 两路 硬质 刀具 模具 接通 离子 室内 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种自清洁刻蚀阳极装置，其特征在于：包括真空室、弧源、转架、阳极屏蔽罩、挡板及偏压电源、切换开关电源；所述弧源正电子端接刻蚀阳极上，所述弧源负电子端接弧靶阴极接线柱上，以此构成弧光放电阴阳极回路；所述阳极屏蔽罩设置在所述刻蚀阳极背部及侧面；所述挡板设置在弧靶阴极前并正对于所述刻蚀阳极的一侧上，所述阳极屏蔽罩位于所述挡板与所述刻蚀阳极之间；所述转架设置在所述真空室内；所述偏压电源的正极接地，所述偏压电源负极接所述切换开关电源，所述切换开关电源两路接头分别接通转架及刻蚀阳极，所述转架上设置待镀产品工位。/n
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